Zerstörungsfreie Fehleranalyse komplexer mikroelektronischer Bauelemente
Ob neue Mobilität, intelligente Produktion oder moderne Energietechnik: zuverlässige und robuste Elektronik ist in all diesen Bereichen die Voraussetzung für einen dauerhaften Markterfolg. Die Fehleranalyse komplexer mikroelektronischer Bauelemente ist dabei von zunehmender Bedeutung für die Sicherung und Verbesserung von Zuverlässigkeit, Qualität und Produktionsausbeute. Insbesondere für komplexe und vollständig eingehauste Bauelemente sind zerstörungsfreie Prüfverfahren zur Lokalisierung von z.B. Kurzschlüssen und Unterbrechungen in den internen Schaltkreisen erforderlich.