Mikrostrukturdiagnostik
![UHV-Kammer des ToF-SIMS](/de/kompetenzfelder/wasserstoff/technologiepark/jcr:content/contentPar/sectioncomponent_136980446/sectionParsys/textwithasset/imageComponent/image.img.jpg/1713273559686/ToF-SIMS-0010-RGB-Vorschau.jpg)
In der UHV-Kammer des ToF-SIMS wird mit Hilfe von Ionensputterquellen die chemische Zusammensetzung einer Probe bestimmt.
- Metallographie und ionenstrahlgestützte Probenvorbereitung
- Mikroskopie (optisch, NIR)
- Analytische Rasterelektronenmikroskopie (SEM) mit EDX/EBSD, EBIC
- Transmissinselektronenmikroskopie (SEM) mit EDX/EBSD, EBIC
- Fokussierter Ionenstrahl (FIB)
- Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS)
- Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)
- Rastersondenmikroskopie (AFM)
- Akustische Rastermikroskopie (SAM)