Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWSMikrostrukturdiagnostik
In der UHV-Kammer des ToF-SIMS wird mit Hilfe von Ionensputterquellen die chemische Zusammensetzung einer Probe bestimmt.
- Metallographie und ionenstrahlgestützte Probenvorbereitung
- Mikroskopie (optisch, NIR)
- Analytische Rasterelektronenmikroskopie (SEM) mit EDX/EBSD, EBIC
- Transmissinselektronenmikroskopie (SEM) mit EDX/EBSD, EBIC
- Fokussierter Ionenstrahl (FIB)
- Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS)
- Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)
- Rastersondenmikroskopie (AFM)
- Akustische Rastermikroskopie (SAM)
