Qualitätssicherung und Strukturanalyse für Halbleiterbauteile
Integrierte Schaltkreise auf Siliziumsubstraten werden heute in fast allen elektronischen Geräten unseres Alltages verwendet. Zukunftstechnologien wie autonomes Fahren, Elektromobilität oder das Internet der Dinge benötigen immer leistungsfähigere und komplexere elektronische Bauelemente und Systeme. Neben einer immer weiter fortschreitenden Miniaturisierung und der damit verbundenen Leistungssteigerung sowie der Kosteneffizienz spielt auch die Steigerung der Robustheit, vor allem für kritische Anwendungen, eine wichtige Rolle. Mit der stetig wachsenden Komplexität der Systeme und den steigenden Anforderungen an Lebensdauer und Zuverlässigkeit, stellen sich auch neue Herausforderungen im Bereich der Qualitätssicherung und der dafür zwingend notwendigen Strukturanalyse.