Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
Für die intelligente Prozesssteuerung beim Ritzen und Gravieren von dünnen Schichten und Oberflächen wurde ein neuartiger Messaufbau sowie ein Hochgeschwindigkeits-Datenanalyse-Verfahren entwickelt. Der kompakte maschinen-integrierbare Ritz-Tester ermöglicht die simultane Messung von Normal- und Lateralkräften beim Ritzprozess mit hoher Zeitauflösung.
Algorithmen zur Separation von quasistatischen und oszillierenden Kräften erlauben eine Echtzeitsteuerung des Ritzprozesses. Durch eine erweiterte Messwertanalyse lassen sich direkt Informationen zur Qualität der Ritzstrukturen sowie zur Standzeit der Ritzwerkzeuge ermitteln. Anwendungen bei der monolithischen Strukturierung von photovoltaischen CIGS-Dünnschichten wurden bereits erfolgreich demonstriert.
Erteilungsnummer: DE 10 2016 221 626