Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von vergrabenen Strukturen in Solarzellen und Solarzellen-Vorstufen

Es wurde ein Verfahren entwickelt, um mittels einer spektral selektiven Beleuchtungseinheit in Kombination mit einer hochauflösenden Kamera verdeckte elektrische Kontaktstrukturen großflächig zu erkennen. Hierbei handelt es sich um ein zerstörungsfreies Verfahren ohne jeden Probenkontakt. So kann zum Beispiel bei der Inline Qualitätskontrolle der Metallisierung von Solarzellen die Erkennung der elektrischen Kontaktbereiche der Rückseite ohne Flip der Probe durchgeführt werden. Damit bietet das Verfahren einen wesentlichen Vorteil gegenüber Verfahren mit mechanisch beweglichen Teilen.

Marktpotenzial

- Ergänzung optischer und EL-Kamerasysteme durch spektrale Datenerfassung

- Anwendung zur Verbesserung des geometrischen Alignments von Prozessen

Angemeldetes Patent: DE 10 2018 201 723 A1